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北京大学2026年9月政府采购意向-薄膜修调系统 详细情况
2026年07月14日 09:07 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 薄膜修调系统 | |
| 项目所在采购意向： | 北京大学2026年9月政府采购意向 |
| 采购单位： | 北京大学 |
| 采购项目名称： | 薄膜修调系统 |
| 预算金额： | 870.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02330300电子工业生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 设备用于MEMS工艺薄膜参数精密修调，依靠离子束溅射刻蚀完成薄膜厚度、电学参数的纳米级精准修正，有效提升器件一致性与工作稳定性，支撑先进MEMS芯片研发与工艺迭代。 |
| 预计采购时间： | 2026-09 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。