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复旦大学2023年11月政府采购意向-互连刻蚀机1 详细情况
2023年10月27日 13:45 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 互连刻蚀机1 | |
| 项目所在采购意向： | 复旦大学2023年11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 复旦大学 |
| 采购项目名称： | 互连刻蚀机1 |
| 预算金额： | 290.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02330300 电子工业生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 拟采购一款单chamber、半自动的刻蚀系统，用于对腔室内等离子体密度的均匀控制。该设备主要包括工艺系统、射频系统、气路系统、真空系统和软件系统，配套件包括多款型号密封圈。主要参数包括但不限于：工艺系统的控压精度低于±0.2mTorr，射频系统的的射频匹配速度低于5s,气体系统流量可调，真空泵速度可达到1300L/s等。 |
| 预计采购时间： | 2023-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。