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东南大学2025年1至3月政府采购意向-HF 气体刻蚀 机 详细情况
2025年01月06日 10:10 来源： 中国政府采购网 【打印】
| HF 气体刻蚀 机 | |
| 项目所在采购意向： | 东南大学2025年1至3月政府采购意向 |
| 采购单位： | 东南大学 |
| 采购项目名称： | HF 气体刻蚀 机 |
| 预算金额： | 550.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02102100教学仪器 |
| 采购需求概况 ： | 1. 测试片 ：100mm 或 150mm、带 10000A 或以上厚度氧化硅片
刻蚀速率 ：>100A/min；
2. 片内均匀性 ：<10% (R/2x) 在 100A/min 刻蚀条件下；厚度测量 (≥9 点)，排除边缘 10mm
3. 片间重复性 ：<10% (R/2x)；做
2 次热氧化硅片刻蚀测试均匀性 及重复性 |
| 预计采购时间： | 2025-02 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。