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中国科学院上海有机化学研究所2024年1至3月政府采购意向-曝光系统 详细情况
2023年12月11日 15:11 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 曝光系统 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学院上海有机化学研究所2024年1至3月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学院上海有机化学研究所 |
| 采购项目名称： | 曝光系统 |
| 预算金额： | 390.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02110205集成电路参数测量仪 |
| 采购需求概况 ： | 光刻胶是集成电路中的关键材料，随着海外禁令越来越严苛，高端光刻胶的国产化势在必行。而研发高端光刻胶需要光刻加工系统，主要用于制备和加工光刻胶等相关电子化学品。曝光系统则是光刻加工系统中的核心之一，因此拟采购用于研发ArF光刻胶的曝光系统1台， |
| 预计采购时间： | 2024-01 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。