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中国科学院光电技术研究所2023年3至5月政府采购意向-激光干涉仪 详细情况
2023年02月21日 15:47 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 激光干涉仪 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学院光电技术研究所2023年3至5月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 采购项目名称： | 激光干涉仪 |
| 预算金额： | 523.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100699-其他试验仪器及装置 |
| 采购需求概况 ： | 当前四川省重大专项项目光刻机关键器件微透镜阵列（ROE）与衍射光学元件（DOE）研发项目中，有大量的光学晶圆纳米级高精度面形检测需求。目前所内仅有先光中心02项目中购买的VFA干涉仪能满足要求，现有的干涉仪为10年购买，两台干涉仪进入故障高发期，经常维修，同时要优先满足国家其他任务需要，没时间为本项目服务 |
| 预计采购时间： | 2023-03 |
| 备注： | 无 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
