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复旦大学2024年6月政府采购意向-真空磁控溅射镀膜设备 详细情况
2024年05月07日 15:10 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 真空磁控溅射镀膜设备 | |
| 项目所在采购意向： | 复旦大学2024年6月政府采购意向 |
| 采购单位： | 复旦大学 |
| 采购项目名称： | 真空磁控溅射镀膜设备 |
| 预算金额： | 300.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02052402 真空应用设备 |
| 采购需求概况 ： | 能够实现8英寸基底的薄膜沉积，能制备厚度差异在±5%（8英寸）的硫系化合物、氧化物等材料的薄膜沉积。配备至少1个直流和1个射频电源，可以实现2个靶位的共溅射沉积。具有氩等离子体轰击，实现轻微刻蚀。本年度内到货并安装调试完毕。 |
| 预计采购时间： | 2024-06 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。