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中国科学技术大学2023年4至6月政府采购意向-热型原子层沉积 详细情况
2023年03月14日 16:26 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 热型原子层沉积 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学技术大学2023年4至6月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学技术大学 |
| 采购项目名称： | 热型原子层沉积 |
| 预算金额： | 250.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02109900其他仪器仪表 |
| 采购需求概况 ： | 用于高致密氧化铝、氧化铪、氧化锆、氧化锡、氧化钇等氧化物或氮化铝薄膜生长。保持工艺环境稳定。生长温度：室温-350 ?C ； 面内膜厚均匀性优于?1%；薄膜致密无漏点；8英寸基片向下兼容。 |
| 预计采购时间： | 2023-06 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。