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北京理工大学2022年12至3月政府采购意向-多功能反应离子刻蚀设备 详细情况
2022年11月16日 16:14 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 多功能反应离子刻蚀设备 | |
| 项目所在采购意向： | 北京理工大学2022年12至3月政府采购意向 |
| 采购单位： | 北京理工大学 |
| 采购项目名称： | 多功能反应离子刻蚀设备 |
| 预算金额： | 165.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A032103电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 采购标为反应离子刻蚀设备一台，需实现广泛的刻蚀工艺，例如刻蚀硅、氧化硅、金属、III-V族化合物和聚合物。自动节流阀维持反应腔内压力、独立于气体流量。能实现精确指定和可重复的刻蚀条件。 |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。