A02100405射线式分析仪器

采购数量：1台套； 一、仪器主要配置： X射线光电子能谱仪主机1套，以及UPS紫外光电子能谱分析、复合氩团簇离子枪刻蚀套件、原位光催化套件、定制原位电池套件。 二、主要技术要求： 1. 真空系统： 必备配置：分析室-样品制备-第三室；分析室：真空腔为纯μ金属制造，真空度≤7.0×10-10 mbar; 2.多功能样品停放台： 样品台：轴向：5轴样品台，即X、Y、Z移动，倾斜及旋转。-移动：X方向不小于50mm，Y方向不小于20mm，Z方向不小于12mm；以水平方向为轴至少在-90？～+90？范围内可倾斜。 3. X射线源： 3.1 射线源类型：Al/Mg双阳极 X射线源； 3.2分析尺寸至少在20μm～900μm之间连续可调可调，调节步长应≤10μm； 3.3最优能量分辨率：对Ag3d5/2峰，半高宽≤0.43eV； 3.4大束斑能量分辨率和灵敏度（功率≤300W）：对Ag3d5/2峰能量分辨≤1.0 eV时，计数率强度≥4Mcps； 4. 能量分析器： 4.1 采谱能量分析器：外罩为纯μ金属制造；180ο半球能量分析器 4.2 平均半径：≥150 mm 4.3 能量扫描范围应≥0～4500eV，确保多功能分析时无需切换分析器； 5. 探测器：两块独立的检测器设计。 6. 电荷中和系统： 结构及操作方式：磁透镜+同轴电子枪+离轴低能离子/电子枪的双枪双束中和方式。 7. 离子散射谱ISS有ISS功能： 在1 keV He离子作用于清洁金表面，能量分辨≤15eV时，灵敏度应≥20,000 cps/nA； 8.同轴反射电子能量损失谱装置有REELS功能： 在能量分辨率为0.5eV时，灵敏度应≥1000kcps； 9. UPS紫外光电子能谱 9.1光源：He紫外光源； 9.2 能量分辨率：对Ag费米边，能量分辨率应≤120 meV； 9.3灵敏度：能量分辨率≤100meV时，灵敏度（Ag4d）≥1,000,000 cps； 10. 原位光催化套件 光纤参数：波长范围：200 ~ 1200nm；光纤直径：0.6mm； 11.定制原位电池套件： 电压范围：0-50 V，最大电流：1A； 12.原位高温高压反应池 独立的外挂于样品制备室上的高压反应池，温度及压力：≥1200K温度的同时可以实现≥7bar的压力； 13.离子枪系统 13.1离子源类型：单Ar原子和团簇Ar属于复合离子源。 13.2单Ar离子能量在0.5~4.0keV之间可调； 13.3团簇Ar离子能量在2.0~8.0keV之间可调，团簇Ar离子团簇数目在75~2000之间可调；单个团簇Ar离子能量在1~100eV之间可调； 14．手套箱真空互联系统：实现样品从手套箱直接转移到XPS高真空系统，无需卸掉真空。