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超声扫描显微镜，单价180万元，数量1台，通用进口设备。 设备主要规格参数，整机尺寸为1000mm×1000mm×1600mm；水槽尺寸为520mm×690mm×150mm；传感器为5-500MHz；最大扫描范围为300mm×300mm；X轴扫描速度≥400mm/s；XY轴重复精度为±0.5μm；Z轴移动范围为0-100mm；常规功能包括A扫、B扫、C扫、多层断层C扫描、多重门限扫描、高清晰扫描、顺序扫描、预扫描、自动扫描、分频扫描、覆盖扫描、插值扫描模式等；探头支持范围为1MHz-400MHz不同频率和焦距可选；图像分辨率最大为10,000×10,000像素；ADC卡采样频率为1.25G/Sec，4G内存。 超声显微镜是一种用于检测不可见的内在细微缺陷的非常有效的工具，同时它可以用来评估电子产品的可靠性。我校公共测试平台亟需超声扫描显微镜用于半导体、集成电路、材料科学、生物医学等多学科领域测试，这将有助于增强我校在半导体和集成电路制造工艺评估、涂层材料内部质量检测等前沿方向的研究。该设备同时能够为与我校相关的企业提供加工制造及研发技术支持，可推动我校与企业的“产、学、研”结合，促进科技成果的迅速转化。