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华中科技大学2025年4至11月政府采购意向-傅里叶变换红外显微镜 详细情况
2025年03月12日 16:14 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 傅里叶变换红外显微镜 | |
| 项目所在采购意向： | 华中科技大学2025年4至11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 华中科技大学 |
| 采购项目名称： | 傅里叶变换红外显微镜 |
| 预算金额： | 110.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100301显微镜 |
| 采购需求概况 ： | 采购数量：1台，现场调试时间不小于一周，验收完成以后保修期3年。
1.具备三个以上输入/输出光路接口，计算机控制转换；
2. 全自动硅片分析系统：可根据需要设计测试点，系统将自动完成最大12寸晶圆片中的氧碳含量和外延层厚度测试；
3. 绝度透射附件：将样品仓出射的聚焦光转化为平行光进行透过率测量，并具有光阑阻挡反射光二次进入光路；
4. 光谱范围：28000-15cm-1,分辨率优于0.085cm-1；
5. 波数准确度优于0.01cm-1@1554cm-1，波数精度优于0.0005cm-1@1554cm-1（10次重复测量标准差）；
6. 透光率精度：优于0.1%T；
7. 信噪比：高于60000:1（峰-峰值，1分钟测量，分辨率4cm-1）
8. 干涉仪：迈克尔逊干涉仪，30度入射角，有效防止偏振效应；
9. 光源：长寿命、高能量中/远红外光源。 |
| 预计采购时间： | 2025-04 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。