A02100699其他试验仪器及装置

离子减薄仪，数量1台。 技术指标：1 离子枪：潘宁式离子枪，装载微小磁铁，聚焦离子束设计，无耗件。 2聚焦离子束设计：采用环形永磁体聚焦方式，聚焦均匀，不需要更换。 3 离子枪角度：正负调整角度≤10°，每支离子枪可独立调节。 4 样品台旋转：样品台可以旋转，1到6 rpm连续可调。15 5 样品台移动范围：载台可以实现X和Y方向的移动，移动范围：≥±0.5mm。 6离子枪束能量：最低电压≤0.1Kev，最高电压≤8Kev。可在不同电压下自动优化离子束束流。 7样品更换：Whisperlock设计，样品更换时间<60s，无需破样品室真空。 8 离子束调制：可以进行角度选择性区域离子减薄.扇面区域的角度分布可以10-90度可调，并且可以根据客户需求自行进行设定。 9样品台：DuoPost样品台以及装样器，方便快速更换样品以及实现双面减薄。 10 真空系统：无油机械泵+≥80L/s抽气速度的分子泵系统。 11 所需气体：氩气，操作压力25psi，无需水冷。 12 控制部分：≥10英寸LED触摸屏电脑控制，具有中英文操作界面，菜单化操作，支持制样程序的设定和储存。 13搭配液氮冷台控温系统，集成在主机上，杜瓦罐容量≥350mL，并且具备一键加热功能；温度控制范围-175℃-室温，一次加注液氮续航能力至少6-8小时。 14环保节能性：运行时功耗≤200W 待机时功耗≤100W。 15观察系统：带有可数字变焦的CCD光学观察系统，通过软件最高放大倍率≥2200X，可以在减薄时实时进行观察，每三分钟自动关闭视窗挡板用于保护视窗清洁；并可通过电脑安装配套软件对离子减薄的开始、停止等操作进行远程控制，可拍照和录像，彩色图像可以设置每隔1分钟拍照一次并自动存储在电脑中，方便记录整个减薄过程。