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中山大学2022年11至12月政府采购意向-快速热退火设备 详细情况
2022年10月17日 17:02 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 快速热退火设备 | |
| 项目所在采购意向： | 中山大学2022年11至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中山大学 |
| 采购项目名称： | 快速热退火设备 |
| 预算金额： | 70.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A032103电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 设备名称：快速热退火设备
数量：1套
用途：该设备用于实现快速升降温，极大缩短器件的制作周期，提高器件更新迭代进度，同时可支持多种工艺气体，退火周期短，可以满足各类器件或薄膜的退火需求。该系统属于基础加工设备，可对不同薄膜进行工艺优化，可对相关学科及方向实现共享，也可用作实验教学，能极大发挥其公共服务效益。
技术要求：样品最大尺寸6英寸硅片；升温速率10～100℃/sec，21根灯管，6个灯管区域，可分区调控功率，温度控制均匀性： U%≤5%；温度范围： 100~1150°C；支持8路气体退火。
交付时间要求：2022-11
交付地点要求：国重室424室
售后服务要求：设备到位后两周内安排技术培训 |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。