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zycgr210708012022年12月政府采购意向-高精度电子束曝光机 详细情况
2022年09月01日 11:29 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 高精度电子束曝光机 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr210708012022年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr21070801 |
| 采购项目名称： | 高精度电子束曝光机 |
| 预算金额： | 1100.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100305电子光学及离子光学仪器 |
| 采购需求概况 ： | 该设备主要用于制作硅基半导体量子芯片的核心纳米级金属电极，需要达到以下条件：
1、加速场电压达到100 kV及以上；
2、最小图形线宽不超过20纳米；
3、多层图形套刻对准精度小于10纳米；
4、最大支持8英寸基片，同时支持任意尺寸小片； |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。