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复旦大学2025年5月政府采购意向-半导体介质垂直溅射系统 详细情况
2025年04月21日 11:02 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 半导体介质垂直溅射系统 | |
| 项目所在采购意向： | 复旦大学2025年5月政府采购意向 |
| 采购单位： | 复旦大学 |
| 采购项目名称： | 半导体介质垂直溅射系统 |
| 预算金额： | 360.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02330300 电子工业生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 需要直射的特定工艺设备，极限真空度:≤3e-8Torr，可实时控制和显示部件和镀等状态，样品尺寸2inch，样品可以通过辐射方式加热，最高加热温度800℃，且能够满足绝大部分镀膜的需要。签订合同后6个月内交付，质保期自验收合格日起3年。 |
| 预计采购时间： | 2025-05 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。