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大连理工大学2022年11至12月政府采购意向-大连理工大学射频感应耦合等离子体刻蚀实验台等设备采购项目 详细情况
2022年11月22日 16:41 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 大连理工大学射频感应耦合等离子体刻蚀实验台等设备采购项目 | |
| 项目所在采购意向： | 大连理工大学2022年11至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 大连理工大学 |
| 采购项目名称： | 大连理工大学射频感应耦合等离子体刻蚀实验台等设备采购项目 |
| 预算金额： | 190.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02062002电气物理设备 |
| 采购需求概况 ： | 等离子体真空腔体，1套
射频电源，2台
真空获得设备，2台
其功能：在等离子体真空室顶部设置盘香型线圈，可将射频电源的能量通过感应耦合的方式注入到真空室内，用于电离击穿工作气体，产生高密度稳定的等离子体。等离子体中产生的高密度活性基团与材料进行化学反应，对材料进行刻蚀。 |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。