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浙江大学2025年5月政府采购意向-原子层沉积系统 详细情况

2025年03月28日 15:23 来源: 中国政府采购网 打印

原子层沉积系统
项目所在采购意向: 浙江大学2025年5月政府采购意向
采购单位: 浙江大学
采购项目名称: 原子层沉积系统
预算金额: 160.000000万元(人民币)
采购品目:
A02339900-其他电工、电子生产设备
采购需求概况 :
原子层沉积(ALD)设备,具有高精度材料沉积控制功能,适用于制备超薄和均匀薄膜。ALD通过自限制化学反应,确保薄膜的高均匀性和精确厚度,适用于复杂纳米结构。它具有高灵敏度沉积和多层结构制备功能,提升器件性能和可靠性。拟采购一台,合同签订后七个月内到货,提供安装、培训服务,整机提供 1 年的免费保修。
预计采购时间: 2025-05
备注:

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。