A02062001-工业电热设备（电炉）

（一）采购标的名称：原位纳米叠层超结构电极材料沉积系统 （二）采购标需实现的主要功能或者目标 可实现大面积、高质量原位纳米叠层超结构电极材料的沉积。 系统包括PECVD生长室（配置差分反射高能电子衍射仪）、自动送样装置、电子束/热蒸镀腔室，具备可编程、全自动PECVD+热蒸镀/电子束蒸镀循环沉积功能。PECVD、电子束、热蒸镀可分别控制、灵活组合。极限真空度＜1*10-5Pa；系统停泵关机 12 小时后真空度＜10Pa；基片尺寸≥4 英寸。 （三）采购标的数量：1套 （四）采购标需满足的质量、服务、安全、时限等要求 合同签订并收到预付款后10个月内交货，自验收合格之日起所有设备的硬件1年免费（原厂）质保，软件10年免费原厂质保和升级服务。各项技术参数符合相关国家标准以及采购技术要求。沉积系统所有部件及零配件须为全新设备，不得为停产型号或翻新机。