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中山大学2022年11月政府采购意向-集成电路学院等离子清洗机采购 详细情况
2022年10月10日 15:57 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 集成电路学院等离子清洗机采购 | |
| 项目所在采购意向： | 中山大学2022年11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中山大学 |
| 采购项目名称： | 集成电路学院等离子清洗机采购 |
| 预算金额： | 21.500000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02053109容器清洗机械 |
| 采购需求概况 ： | 集成电路学院拟采购等离子清洗机1套。
主要技术指标：8英寸向下兼容，处理多片样片；RF功率源0~300W/500W可调，自动匹配前级泵干泵；气路数量2~3路，气体种类O2/N2/Ar，气体量程0~100sccm/200sccm/300sccm/定制；流量计种类MFC或浮子；全自动/手动/定制控制系统，触摸屏交互界面；处理材料PR、PMMA、HDMS、有机膜等。
交付时间：合同签订或收到发货通知30天内。
交付地点：中山大学深圳校区理学园。
售后服务要求:3年质保期，对所提供的货物在质保期内，因产品质量而导致的缺陷，必须免费提供包修、包换、包退服务。 |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。