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清华大学2025年3至4月政府采购意向-高真空电子束蒸发薄膜沉积系统 详细情况
2025年01月16日 10:32 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 高真空电子束蒸发薄膜沉积系统 | |
| 项目所在采购意向： | 清华大学2025年3至4月政府采购意向 |
| 采购单位： | 清华大学 |
| 采购项目名称： | 高真空电子束蒸发薄膜沉积系统 |
| 预算金额： | 120.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A-货物_A02000000-设备_A02330000-电工、电子生产设备_A02330300-电子工业生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 采购需求概况应当包括：
1.采购标的名称：高真空电子束蒸发薄膜沉积系统
2.采购标的需实现的主要功能或者目标：在高真空环境下，通过电子束加热靶材，使其蒸发后在基片表面形成薄膜。
3.采购标的数量：1
4.采购标的需满足的质量、服务、安全、时限等要求：质保期至少1年。售后服务响应不超过24小时（不区分工作日和节假日）支持8英寸及以下样品，且 8 英寸片内均匀性在±5%之内 |
| 预计采购时间： | 2025-04 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。