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兰州大学2022年10至12月政府采购意向-化学化工学院双光子三维激光直写系统设备采购项目 详细情况
2022年10月10日 21:24 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 化学化工学院双光子三维激光直写系统设备采购项目 | |
| 项目所在采购意向： | 兰州大学2022年10至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 兰州大学 |
| 采购项目名称： | 化学化工学院双光子三维激光直写系统设备采购项目 |
| 预算金额： | 400.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A021099 |
| 采购需求概况 ： | 名称：双光子三维激光直写系统
功能：实现精度达到160nm的微纳米尺度三维立体器件制作工艺，可结合使用振镜扫描和压点扫描模式，快速得到x-y平面上具有大面积，并且在z方向上达到3mm的图形。可直接使用 CAD 生成的 STL 格式三维模型进行加工，能够在亚微米特征尺寸实现完全的三维设计自由度。
数量：1台
需满足的要求：二维线宽可达160 nm以下,二维分辨率可达500 nm以下，三维线宽可达200 nm以下，三维分辨率可达800 nm以下，三维Z轴方向特征尺度可达一微米以下。设备必须具有自动侦测光刻胶和界面的功能。 |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | 吴老师17793165120 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。