当前位置：采购意向项目详情
华中科技大学2025年4月政府采购意向-8英寸介质刻蚀机 详细情况
2025年02月21日 18:06 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 8英寸介质刻蚀机 | |
| 项目所在采购意向： | 华中科技大学2025年4月政府采购意向 |
| 采购单位： | 华中科技大学 |
| 采购项目名称： | 8英寸介质刻蚀机 |
| 预算金额： | 450.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100503工艺试验机 |
| 采购需求概况 ： | 拟购8英寸介质刻蚀机1台，该设备利用化学反应和物理离子轰击去除硅片表面的材料来实现高精度图形化。晶圆尺寸：8英寸向下兼容；片内不均匀性：<5%；片间不均匀性：<5%；刻蚀形貌：85°±5°。服务要求：设备安装调试后，提供不少于3个工作日的技术培训服务；所有硬件一年免费保修、电话报修后4小时内响应； 提供设备终身维护维修服务。 |
| 预计采购时间： | 2025-04 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。