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中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所2025年1至12月政府采购意向-电子图形化设备 详细情况
2025年01月07日 18:25 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 电子图形化设备 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所2025年1至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 采购项目名称： | 电子图形化设备 |
| 预算金额： | 500.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02339900其他电工、电子生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 采购一台电子图形化设备，用于在器件工艺中实现15nm高精度图形的制备。通过电子束轰击电子敏感材料，精确控制电子束的扫描和定位，在材料上形成图形。最小光刻线宽≤15 nm；电子枪最大加速电压≥30 kV；最小聚焦束斑≤3 nm；套刻精度≤50 nm。 |
| 预计采购时间： | 2025-02 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。