A033499其他专用仪器仪表

拟实现的主要功能或目标： 满足微波射频器件、MEMS器件、合金薄膜电阻、光电类器件等的刻蚀加工需求，尤其是在制备超表面光学元件、斜齿光波导时能实现侧壁角度可控的倾斜结构加工，能实现各类材料表面高精度清洗增加镀膜粘附性。 采购需求： 拟采购离子束刻蚀机一套，用于满足微波射频器件、MEMS器件、合金薄膜电阻、光电类器件等的刻蚀加工需求以及各类材料的表面减薄、高精度清洗方面的应用。主要技术指标：样品尺寸max 8inch；Source voltage：≥1000V；Beam current：≥1000mA；Substrate rotation:360?0-20rpm；Substrate tilt：-90~65度；He背冷；Table 温度范围：10~60℃；Gas line：≥ 6路；Base pressure优于3.0e-6Torr。拟采购的设备需满足7*24h长时间稳定运行，提供至少整机1年的免费保修（含人工费和零配件费用），保修期内因质量问题而导致仪器停用的时间应从保修期中扣除。应在设备安装调试合格后对用户操作、维护人员进行免费培训，包括软件、硬件的操作和日常维护、典型应用工艺，培训时间不少于5天。验收后根据用户需求再提供至少一次高级应用培训，具体培训时间双方协商。维修响应时间：供方应在4小时内对用户的服务要求作出响应，如有必要、在48小时内派工程师到达现场、检查和排除故障。重大问题或其它无法迅速解决的问题应在一周内解决或提出明确解决方案。 是否面向中小企业采购：否。