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东南大学2025年1至3月政府采购意向-无掩膜光刻 机 详细情况
2025年01月06日 10:10 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 无掩膜光刻 机 | |
| 项目所在采购意向： | 东南大学2025年1至3月政府采购意向 |
| 采购单位： | 东南大学 |
| 采购项目名称： | 无掩膜光刻 机 |
| 预算金额： | 700.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02102100教学仪器 |
| 采购需求概况 ： | 1. 空间各方向特征尺寸 100 nm
2. 表面粗糙度小于 5 nm
3. 最大扫描速度 6.25 m/s/透镜 放大倍数 2
4. 单次最大打印体积 50 x 50 x
12 mm3
5. 纳米级精度的空间对齐（xy 方 向 100 nm，z 方向 500 nm） |
| 预计采购时间： | 2025-02 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。