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武汉大学2023年11至12月政府采购意向-磁控溅射镀膜机 详细情况

2023年10月19日 17:06 来源: 中国政府采购网打印

磁控溅射镀膜机
项目所在采购意向: 武汉大学2023年11至12月政府采购意向
采购单位: 武汉大学
采购项目名称: 磁控溅射镀膜机
预算金额: 180.000000万元(人民币)
采购品目:
A02052402真空应用设备
采购需求概况 :
(一)采购标的名称:磁控溅射镀膜机 (二)采购标的需实现的主要功能或目标:1、304不锈钢方腔,工艺腔内部尺寸约为宽 380mm x深 415mm x高 600mm,适用于最大直径150mm的基片; 2、基本配置包含分子泵,抽速大于750L/s,分子泵转速可调,以及抽速大于7.0cfm @ 60Hz的油封机械泵; 3、主腔室配置全量程真空计,测量范围由大气至10-9 Torr(离子规和低真空规),进样室配置全量程真空计; 4、适用于六个溅射靶枪的底法兰,最多可装6个2英寸或3英寸的靶枪,沉积速率可调,薄膜均匀度小于±5%; 5、质保期1年,交货期8个月。 (三)采购标的数量:1台
预计采购时间: 2023-12
备注:

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。