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浙江大学2021年4月政府采购意向-等离子体刻蚀机 详细情况
2021年03月10日 15:49 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 等离子体刻蚀机 | |
| 项目所在采购意向： | 浙江大学2021年4月政府采购意向 |
| 采购单位： | 浙江大学 |
| 采购项目名称： | 等离子体刻蚀机 |
| 预算金额： | 250.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100305 |
| 采购需求概况 ： | 本单位拟采购等离子体刻蚀机一台，拟采购的设备参数如下：电感耦合等离子体工艺腔式；腔壁电加热；下电极具有冷却/加热功能；至少600W RIE 微波电极，带自动阻抗匹配网络；至少1kW电感耦合等离子源，带自动阻抗匹配网络；真空计；自动压力空气阀门；防腐蚀分子泵；机械干泵；温度控制器；单基片转载腔室；转载腔室真空泵；8路工艺气体，带MFC流量控制。 |
| 预计采购时间： | 2021-04 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。