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浙江大学2021年4月政府采购意向-电子束蒸发镀膜机 详细情况

2021年03月10日 15:49 来源: 中国政府采购网打印

电子束蒸发镀膜机
项目所在采购意向: 浙江大学2021年4月政府采购意向
采购单位: 浙江大学
采购项目名称: 电子束蒸发镀膜机
预算金额: 105.000000万元(人民币)
采购品目:
A02100305
采购需求概况 :
本单位拟采购电子束蒸发镀膜机一台,拟采购的设备参数如下:直径8英寸水冷工件台 ;可装载一个8英寸或三个4英寸样品;极限真空度优于8E-8Torr;工艺腔从大气抽到5E-6Torr的时间少于30分钟 ;直径75毫米(3英寸)范围内均匀性优于±3%,批次间重复性优于±2%。
预计采购时间: 2021-04
备注:

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。