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浙江大学2021年4月政府采购意向-电子束曝光机 详细情况
2021年03月10日 15:49 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 电子束曝光机 | |
| 项目所在采购意向： | 浙江大学2021年4月政府采购意向 |
| 采购单位： | 浙江大学 |
| 采购项目名称： | 电子束曝光机 |
| 预算金额： | 1200.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100305 |
| 采购需求概况 ： | 本单位拟采购电子束曝光机一台，主要功能是电子束直写，可以多层套刻，也可与接触式光刻机配合进行混合光刻（Mix & Match），以便在大尺寸器件上制作微纳精细结构。其参数需满足加速电压： 100 kV，最小线宽： 10 nm ，套刻精度： ≦±9nm ，接缝精度: ≦±9nm ，扫描速度： 125 MHz。服务要求：1.设备原厂人员向招标人提供设备培训。2.售后响应及时 |
| 预计采购时间： | 2021-04 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。