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中国科学技术大学2021年3至12月政府采购意向-表面等离子体激活机 详细情况
2021年02月08日 16:09 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 表面等离子体激活机 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学技术大学2021年3至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学技术大学 |
| 采购项目名称： | 表面等离子体激活机 |
| 预算金额： | 550.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A033499其他专用仪器仪表 |
| 采购需求概况 ： | 名称: 表面等离子体激活机
数量: 1台
主要功能: 最大尺寸200mm；可通3路反应气体；RF功率可达200W以上；配APC恒压功能；
目标：透过等离子体激活半导体表面，以供后续键合；
质保期: 1年以上
售后维保:国内必须设有维护点;24小时维修响应; |
| 预计采购时间： | 2021-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。