A033499其他专用仪器仪表

申报ICP-RIE加工系统主要用于微流控器件相关的石英、玻璃材料等微纳米结构和固体量子器件加工，利用微加工技术，在玻璃、硅、高分子材料等基片上制作各种微泵、微阀、微反应器、微过滤器等微流控功能器件，将生物、化学等领域中所涉及的样品制备、反应、分离、检测及细胞培养、分选、裂解等基本操作单元集成到一块几微米到平方厘米的芯片上，由微通道形成网络，用以控制流体贯穿整个系统，从而取代常规生物或化学实验室各种功能的一种技术平台。由于石英和玻璃具有良好的电渗和优良的光学性质，其表面吸附和表面反应能力都有利于表面改性，因此它是制作微流控芯片中微流体管道最常用的材料，而ICP——RIE加工系统是制作微流控器件必备设备之一。ICP离子源功率大于2000W，可以刻蚀石英，硅片，SiC等。支持6英寸及小片刻蚀，刻蚀均一性在5%以内。