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中国科学技术大学2021年3至12月政府采购意向-紫外光刻机 详细情况
2021年02月08日 16:09 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 紫外光刻机 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学技术大学2021年3至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学技术大学 |
| 采购项目名称： | 紫外光刻机 |
| 预算金额： | 140.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A033499其他专用仪器仪表 |
| 采购需求概况 ： | 深紫外光刻机可以满足8英寸样品大面积曝光，以及2“，3”，4“，6”，（圆/方片）及碎片光刻需求；支持背面对准及真空、接近式、接触式曝光模式，接触式样曝光，分辨率优于0.3um（验收指标）。
接触式样曝光特征尺寸CD（深紫外DUV）：0.25 um（极限指标）。 |
| 预计采购时间： | 2021-08 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。