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中国科学技术大学2021年3至12月政府采购意向-氧化物薄膜异质结外延生长系统 详细情况
2021年02月08日 16:09 来源: 中国政府采购网 【打印】
氧化物薄膜异质结外延生长系统 | |
项目所在采购意向: | 中国科学技术大学2021年3至12月政府采购意向 |
采购单位: | 中国科学技术大学 |
采购项目名称: | 氧化物薄膜异质结外延生长系统 |
预算金额: | 250.000000万元(人民币) |
采购品目: | A033499其他专用仪器仪表 |
采购需求概况 : | 背底真空度高于1E-7 Torr,生长温度最高达800摄氏度,具有激光脉冲沉积和磁控溅射两种薄膜生长模式,配备薄膜生长的原位监控手段,如反射式高能电子衍射系统。 |
预计采购时间: | 2021-08 |
备注: |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。