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中国科学技术大学2021年3至12月政府采购意向-氟化氢释放刻蚀机 详细情况
2021年02月08日 16:09 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 氟化氢释放刻蚀机 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学技术大学2021年3至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学技术大学 |
| 采购项目名称： | 氟化氢释放刻蚀机 |
| 预算金额： | 320.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A033499其他专用仪器仪表 |
| 采购需求概况 ： | 1、刻蚀速率100埃/min~1000A/min
2、HF气体流量0~500sccm,无水乙醇气体流量-~20sccm，工艺氮气流量0~2000sccm，带尾气处理；
3、刻蚀均匀性好于12% |
| 预计采购时间： | 2021-06 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。