A033499其他专用仪器仪表

标的名称：真空内精控平台系统 主要功能：实现能在真空中工作，具备X,Y,Z,α,β,γ六个自由度（三线性自由度+三角度自由度）测量，且能够以自由堆叠式拆卸的精控平台。 标的主要内容：主要包括以上六个自由度的机械支撑件、驱动电机、真空内电缆、驱动控制器、真空法兰等。 要求部件能够工作在至少10-7Torr真空度条件下，线性自由度精度应达到um级别，角度自由度精度应满足0.001°级别。 要求供应商能够根据实验站技术方案及指标要求提供工程设计、分析及加工研制，最终提供真空内精控平台度测试报告，并完成精控平台安装。真空内精控平台应在合同签订之日起8个月内送达指定交货地点。 要求供应商有过类似真空内精控平台的研制和成功应用案例，具备精控平台调试及精度指标测量能力，能够完成安装调试。