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中国科学技术大学2021年3至12月政府采购意向-原子层沉积系统 详细情况
2021年02月08日 16:09 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 原子层沉积系统 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学技术大学2021年3至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学技术大学 |
| 采购项目名称： | 原子层沉积系统 |
| 预算金额： | 180.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A033499其他专用仪器仪表 |
| 采购需求概况 ： | 采购设备将用于硅基半导体量子点量子芯片的样品制备工艺。硅基量子芯片采用层叠型栅电极工艺，不同功能的栅电极互相交错堆叠，栅电极之间需要保持较好的绝缘性，因此需采购一台原子层沉积系统，用于生长高质量的氧化铝薄膜，作为栅电极之间的绝缘介质。拟采购设备所生长的氧化铝薄膜需具有良好的均匀性，以保证从不同方向和角度对栅电极包覆。同时氧化铝薄膜需具有较高的绝缘质量，5纳米厚度薄膜漏电流<1pA,击穿电压需达到5V以上；采购数量为1台。 |
| 预计采购时间： | 2021-03 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。