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中国科学院物理研究所2021年1至9月政府采购意向-超高真空多腔室电子束镀膜系统 详细情况
2021年01月29日 17:16 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 超高真空多腔室电子束镀膜系统 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学院物理研究所2021年1至9月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学院物理研究所 |
| 采购项目名称： | 超高真空多腔室电子束镀膜系统 |
| 预算金额： | 536.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A021099-其他仪器仪表 |
| 采购需求概况 ： | 1. 四腔室，最高真空度优于5e-10Torr 2. 清洗腔：射频离子源，清洗面积100mm 3. 蒸发腔：电子枪6 kW，4英寸衬底；衬底可加热800℃；衬底旋转、倾斜，倾斜精度和重复性优于0.1°，沉积速率>1nm/s， 5. 氧化室: 加热1100℃，温度精度1℃，动态和静态模式控制抽速，气体流量精度<1% |
| 预计采购时间： | 2021-03 |
| 备注： | 综合极端
条件实验装置 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。