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华南理工大学2022年11月政府采购意向-OLED器件制备测试系统 详细情况
2022年10月20日 09:53 来源： 中国政府采购网 【打印】
| OLED器件制备测试系统 | |
| 项目所在采购意向： | 华南理工大学2022年11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 华南理工大学 |
| 采购项目名称： | OLED器件制备测试系统 |
| 预算金额： | 228.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A032103电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况 ： | OLED器件制备系统主要由真空系统，蒸发源，膜厚系统，手套箱系统，清洗机，测试系统，封装系统等组成。
1 带有16组蒸发源，4台蒸发电源，具体4源共蒸功能
2 基片台一次可放4块基片，每块尺寸为32mm*32mm，可真空状态下更换2次掩膜板。
3 控制系统采用电脑控制，相关的操作均在电脑界面完成
4 膜厚控制系统带有8个探头，且其中7个位置可调节
5 极限真空为3.5*10-5pa，从常压到5*10-4pa不超过15min（充氮气保护，从手套箱内操作）
6：手套箱系统水氧含量≤1ppm
7：等离子清洗机等离子均匀度误差小于1%。
8：测试系统亮度准确度误差≤2%，亮度重复性误差≤0.15%，偏振误差≤2%。
9：封装系统反复定位精度：<±20 um；Stage 平坦度：<±30 um； |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。