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浙江大学2024年11月政府采购意向-离子注入机 详细情况
2024年10月27日 19:50 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 离子注入机 | |
| 项目所在采购意向： | 浙江大学2024年11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 浙江大学 |
| 采购项目名称： | 离子注入机 |
| 预算金额： | 1500.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02330301-电子工业生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 采购标的名称：离子注入机
采购标的需实现的主要功能或者目标：提供向半导体材料注入离子来改变其电学性质
采购标的数量：1套
采购标的需满足的质量：
1. 晶圆尺寸：8″、6″、4″、3″及不规则小片
2. 注入元素：P+、B+、Al+、N+等，（配置五个气路MFC，在此基础上可扩展F+ 、Si+ 、Mg+、 H+等元素）
3. 注入能量范围：10KeV ～ 380KeV（单价）
4. 注入角度：0°～45°，角度精度：≤0.2°
5. 最大束流（不扫开束流）：B+：≥1200μA；P+：≥2000μA；N+：≥2000μA；Al+：≥2000μA
6. 束流稳定性：变化率≤10%（20min）
7. 剂量范围：2E11～1E16 ions/ cm2
8. 本底真空度：Ion Source：≤5E-7Torr；Beam Line：≤5E-7Torr；End Station：≤5E-6Torr；
9. X射线泄漏值≤0.5μSv/h
10. 注入均匀性：1σ≤1%（P+、1E14、100KeV、8″硅晶圆、倾角7°）
11. 注入重复性：1σ≤1%（P+、1E14、100KeV、8″硅晶圆、倾角7°）
12. 扫描方式：水平静电扫描+垂直机械扫描
13. 传片方式：4靶位手动装卸片,每个靶位的角度可独立自动调整
服务：电话支持:7x8小时;质保期:1年;原厂全新未拆封正品;
时限：签约后8个月内到货 |
| 预计采购时间： | 2024-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。