A032103电子工业专用生产设备

名称：电子束蒸镀系统。 数量：1套。 用途：现洁净、均匀、可控及可重复的工艺过程，可实现有机物和金属沉积方面的应用。 技术指标：1、极限真空度：系统洁净、干燥环境下可达到2 x 10-7 Torr ；2、配备2个电源控制器，4个水冷电极柱；3、集成有1套带有6个坩埚的电子束蒸发源及金属热阻蒸发源；5、系统控制为全PC自动控制模式，集成有基于Windows的控制软件；可实现自动和手动双模式控制； 6、样品台可以固定或安装直径150 mm或6″的样品，兼容小尺寸及其它异形样品；7、样品台带有旋转功能，可调节范围0-30 RPM ；8、高集成度镀膜控制软件；镀膜速率的精度优于0.1 ？/s，膜厚厚度分辨率可达0.01 ？，薄膜不均匀性≤±5%；。 安装部署要求：电源：380V-415V/50HZ,三相五线（三相+地线+零线），30A电流，空开要求大于40A；冷却水：工作压力：0.35MPa(345Kpa，50psig) 流量：5.7lpm；场地面积5m*5m。 交付时间要求：签订合同后9个月； 交付地点要求：中山大学南校园 售后服务要求：验收合格后免费保修1年，终身维护及技术咨询，售后服务响应快，收费合理。设备到货接到安装通知，派遣转移而技术人员上门安装并培训，安排国内技术培训和应用培训；提供快速响应的维修服务体系，并提供应用、技术支持及软/硬件升级。