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南京航空航天大学2025年10月政府采购意向-镀膜子系统 详细情况
2025年09月09日 20:43 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 镀膜子系统 | |
| 项目所在采购意向： | 南京航空航天大学2025年10月政府采购意向 |
| 采购单位： | 南京航空航天大学 |
| 采购项目名称： | 镀膜子系统 |
| 预算金额： | 495.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02052402真空应用设备 |
| 采购需求概况 ： | 名称：镀膜子系统，功能：在较高真空度下，实现高精度介质、金属等材料高的薄膜物理沉积。满足指标：真空度： 5E-7 Torr；
典型沉积速率：0.1A ~ 3A/s；
6英寸晶圆镀膜均匀性：±5%； |
| 预计采购时间： | 2025-10 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。