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中国科学院微电子研究所2025年10至11月政府采购意向-兆声清洗机 详细情况
2025年04月14日 18:55 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 兆声清洗机 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学院微电子研究所2025年10至11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学院微电子研究所 |
| 采购项目名称： | 兆声清洗机 |
| 预算金额： | 450.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02330300-电子工业生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 采购标的名称：兆声清洗机。采购数量为1台。采购标的主要功能：满足8英寸晶圆清洗，采用单片清洗，具备3种供液系统，用于清洗刻蚀后的InO GaO ZnO Ru Mo ITO TiN等薄膜材料。粒径＞0.3um 的颗粒去除率 >95%; 碎片率 ＜1‰; 划痕率＜1‰。采购标的需满足的质量，服务，安全，时限：提供设备验收合格后1年质保及一体化环境工程整体解决方案；设备订单生成后10月内交货安装完成。 |
| 预计采购时间： | 2025-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。