A03专用仪器

必要性：场发射电子探针兼顾高的图像分辨率和精准的元素分析功能。 （1）高的二次电子图像分辨率3nm（30kV），可用于金属、陶瓷、涂层、纳米材料和断口形貌的显微结构及尺寸观察；背散射图像可用于物相及析出相的观察； （2）EPMA 采用波长色散型X 射线分光器（WDS），与能量色散型X 射线分光器（EDS）相比，具有高分辨率(WDS分辨率优于EDS一个数量级)的特点。因此，EPMA 与扫描型电子显微镜（SEM）配置EDS 检测器比较，可以进行更高精度和更高灵敏度的元素分析。 场发射电子探针既像扫描电镜一样可用于高分辨率的形貌观察，又弥补了电镜能谱元素定量精度差、B/C/N/O超轻元素无法分析和低分辨率元素线面分析等元素分析的缺陷，同时兼具可观察可高精度全元素定量分析和高分辨率的元素线面分析等强大功能，填补了校内电子探针类仪器的空白，在复合材料、金属间化合物、金属相变、材料腐蚀等方面具有广泛应用。