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中山大学2022年11月政府采购意向-集成电路学院扩散、氧化、真空退火一体炉采购 详细情况
2022年10月10日 15:57 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 集成电路学院扩散、氧化、真空退火一体炉采购 | |
| 项目所在采购意向： | 中山大学2022年11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中山大学 |
| 采购项目名称： | 集成电路学院扩散、氧化、真空退火一体炉采购 |
| 预算金额： | 115.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02062001工业电热设备（电炉） |
| 采购需求概况 ： | 集成电路学院拟采购扩散、氧化、真空退火一体炉1台。
主要技术指标：适用晶片尺寸：2~6英寸圆片；工作温度600℃~1300℃；可配工艺管数量1~2管/台；恒温区长度及精度s±0.5℃/200mm（800℃~1300℃）；单点温度稳定性≤±0.5℃/24h（1100℃）；最大升温速率15℃/min，最大降温速率5℃/min；气路包括氧气、氮气、氩气等。
交付时间：合同签订或收到发货通知30天内。
交付地点：中山大学深圳校区理学园。
售后服务要求:3年质保期，对所提供的货物在质保期内，因产品质量而导致的缺陷，必须免费提供包修、包换、包退服务。 |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。