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中国科学院上海技术物理研究所2025年10至12月政府采购意向-精密界面平坦化加工系统 详细情况
2025年10月17日 18:36 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 精密界面平坦化加工系统 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学院上海技术物理研究所2025年10至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学院上海技术物理研究所 |
| 采购项目名称： | 精密界面平坦化加工系统 |
| 预算金额： | 231.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02209900其他航空航天工业设备 |
| 采购需求概况 ： | （1）功能包含Grinding、CMP和CP功能；
（2）表面粗糙度：Grinding小于10nm，CMP和CP小于1nm；
（3）加工尺寸范围 ：兼容 6 英寸及以下圆形和方形；
（4）平整度 ：优于6μm@6 英寸 ；
（5）适用材料特性 ：适宜于软脆材料，耐受腐蚀性强酸强碱性化学试剂。 |
| 预计采购时间： | 2025-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。