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吉林大学2022年11至12月政府采购意向-高温超导薄膜沉积系统 详细情况
2022年10月14日 11:51 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 高温超导薄膜沉积系统 | |
| 项目所在采购意向： | 吉林大学2022年11至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 吉林大学 |
| 采购项目名称： | 高温超导薄膜沉积系统 |
| 预算金额： | 290.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A032103电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 拟采购高温超导薄膜沉积系统1套，该系统具有多室多靶高真空薄膜沉积功能，通过磁控溅射和脉冲激光沉积的多室联合来制备钇钡铜氧高温超导薄膜及其他多种类型材料多层膜和复合膜，室内极限真空度≤6.67×10^(-6) Pa，加热温度1000℃±1℃，靶材最大沉积尺寸Φ60mm，超导薄膜均匀性优于±5%，可实现自动送样，靶材切换，沉积速率校正，在线膜层测量控制等。签订合同后8个月以内交货，质保期不低于1年。 |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。