A02100699其他试验仪器及装置

采购项目名称：西南交通大学晶圆干法原子级清洗设备采购。采购数量：1台。拟实现主要功能目标：(1) 清洗表面有机污染分子薄膜：对晶圆表面有机污染物去除率≥90%；(2) 清洗尺寸能力：最大支持Ф6英寸（约150mm）晶圆的全表面清洗；(3) 等离子体发生装置：配备一台射频耦合电源及射频偏压电源；(4) 独立的Load-lock室：实现样品快速传递与主腔室真空保护；(5) 工艺气路系统：配置不少于6路独立气路，支持多种工艺气体切换；(6) 流量控制：配备高精度MCF质量流量计；(7) 温度控制：最高加热温度500℃，控温精度±1℃；(8) 过程监测：配备质谱检测模块，实时监测工艺气氛及副产物；(9) 集成高分辨电子成像与光学导航，具备快速抽真空、多尺度自动拼接及无人值守采集能力；可进行原位拉伸与压缩测试，并与电子成像联动实时观测微观演化；兼容多类样品，配备高性能真空系统与开源控制软件，支持远程物联控制，且具备拉曼联用后期拓展能力。服务要求：需满足安装调试、售后保障要求。 安全要求：须符合国家相关安全标准，设备投入使用前须通过具有资质的第三方机构的安全评估；供货方须提供设备安全操作规程及应急预案，并指导采购方建立安全管理体系。 时限要求：合同签订后，供货方须在约定期限内完成设备制造并发货，设备到场后30日内完成安装调试。