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清华大学2022年12月政府采购意向-光刻机 详细情况
2022年11月26日 10:55 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 光刻机 | |
| 项目所在采购意向： | 清华大学2022年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 清华大学 |
| 采购项目名称： | 光刻机 |
| 预算金额： | 199.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100699其他试验仪器及装置 |
| 采购需求概况 ： | 拟采购光刻机一台，适用于4英寸及以下包括碎片，LED光源，光强均匀性优于±2.5%@6英寸圆形区域内，分辨率0.8微米，正面套刻对准精度：优于±0.5微米并可原位升级到±0.25微米，背面套刻对准精度优于±1微米，可在同一曝光系统中实现“高分辨率”和“大景深”两种曝光模式，两种模式之间切换灵活方便 |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。