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华中科技大学2025年4至11月政府采购意向-激光掩膜直写系统 详细情况
2025年03月12日 16:14 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 激光掩膜直写系统 | |
| 项目所在采购意向： | 华中科技大学2025年4至11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 华中科技大学 |
| 采购项目名称： | 激光掩膜直写系统 |
| 预算金额： | 850.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02330300电子工业生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 采购数量：1台，现场调试时间不小于一周，验收完成以后保修期3年。
1、最大曝光面积:200x200平方毫米
2、最大基板尺寸:g“xg多种写入模式
3、最小特征尺寸:可达300 nm
4、最大写入速度(在4um特征尺寸时):2000mm2/min
5、地址网格低至5nm高达1000个灰度级的灰度暖光模式矢量和光栅扫描曝光模式多种数据输入格式
6、前后对齐
7、气候室
8、两种激光波长选择(405 nm或375 nm)实时自动对焦系统 |
| 预计采购时间： | 2025-04 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。