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复旦大学2023年11月政府采购意向-热蒸发镀膜系统 详细情况

2023年10月18日 15:06 来源: 中国政府采购网 打印

热蒸发镀膜系统
项目所在采购意向: 复旦大学2023年11月政府采购意向
采购单位: 复旦大学
采购项目名称: 热蒸发镀膜系统
预算金额: 225.000000万元(人民币)
采购品目:
A02330300 电子工业生产设备
采购需求概况 :
拟采购1台热蒸发镀膜系统,将用于芯片前、后段多种金属,介电质镀膜以及镀膜工序前后的预处理清洁刻蚀等功能,设备能满足6寸及以下尺寸的基片处理要求,并配制相应的托盘夹具。,用于支撑半导体先进封装先进工艺的教学及科研需求。
预计采购时间: 2023-11
备注:

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。